Brand treft productie van chipmachines bij ASML

Een brand bij een vestiging van chipmachinefabrikant ASML in Berlijn heeft de productie van een belangrijk onderdeel van diens lithografiemachines getroffen. Met deze ‘Extreme Ultra Violet’ (EUV)-machines worden uiterst kleine, krachtige chips gemaakt.

De brand ontstond in de vroege ochtend van 3 januari in een productiegebouw op het terrein van de Berlijnse fabriek. De rook trof ook een naastgelegen gebouw. De productie is inmiddels gedeeltelijk hervat, meldde ASML vrijdag. Andere gebouwen op het terrein bleven onaangetast en zijn volledig operationeel.

Het Veldhovense bedrijf weet nog niet in hoeverre de brand de productie van chipmachines beïnvloedt. ‘We zijn nog bezig het herstelplan voor dit productiegebied te voltooien en te bepalen hoe we de mogelijke impact voor onze EUV-klanten kunnen minimaliseren’, aldus het hightechbedrijf.

Klemmen voor wafers

Volgens ASML werden in één van de getroffen ruimtes klemmen gemaakt voor zogeheten wafers, de dunne plakken materiaal waarvan uiteindelijk halfgeleiders worden geproduceerd. Deze klemmen zijn bedoeld voor EUV-machines, de nieuwste generatie machines van het concern voor de productie van chips.

De brand tastte overigens ook ruimtes aan waar onderdelen voor een oudere generatie lithografiemachines, de DUV, worden vervaardigd. Ook dat heeft invloed op de productie, maar ASML verwacht dat de hier opgelopen achterstanden snel weer in te halen zijn.